Det belgiska forskningsinstitutet imec och Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) har undertecknat ett strategiskt avtal som förlänger det befintliga partnerskapet mellan de båda parterna till 2029. Det handlar om att utveckla halvledarteknologi och tillverkningsteknik för forskning och utveckling under 2nm.

Det undertecknade strategiska partnerskapsavtalet förlänger det befintliga partnerskapet mellan imec och Zeiss som har funnits sedan 2019.
– Vi är mycket glada över att intensifiera vårt samarbete med imec för att tillsammans främja morgondagens halvledarteknologier med sitt starka partnernätverk, säger Thomas Stammler, Chief Technology Officer och medlem av Zeiss SMT Management Team.
– För forskning och utveckling av banbrytande halvledarteknologier är expertis och teknisk erfarenhet hos industripartners som Zeiss avgörande. Därför är vi mycket glada över att stärka vårt partnerskap ytterligare, säger Luc Van den hove, vd och koncernchef för imec.
Med det undertecknade avtalet bekräftar de två samarbetspartnerna sina gemensamma ansträngningar för att främja nyckelteknologier för halvledartillverkning såsom High-NA-EUV-litografi. Denna teknik avser att möjliggöra produktion av ännu mer kraftfulla och energieffektiva mikrochips, som är grunden för nyckelteknologier som artificiell intelligens, autonom körning, Industry 4.0 och lösningar för medicinteknik och energiomställningen.
Imecs pilotlina som forskningscenter
Som en del av avtalet stödjer Zeiss inte enbart imec genom att delta i forskningsprojekt för att främja tillverknings-, process- och mättekniker för halvledartillverkning utan också genom att tillhandahålla litografioptik, integrerad i den strategiska partnern ASMLs litografiska skannersystem, av olika produktgenerationer för imecs pilotlinje, vilket uppges vara en väsentlig del av samarbetet.
Imecs pilotlinje, som nu utökas med NanoIC-pilotlinjen, som finns i Leuven i Belgien omfattar hela värdeskapandeprocessen samt olika teknikområden för halvledartillverkning. Det syftar till att ge industri, leverantörer och forskningsinstitutioner tillgång till banbrytande och avancerade halvledarteknologier och plattformar, vilket skall göra det möjligt för dem att utforska, utveckla och testa innovationer. Optimeringen av befintlig utrustning, processer och mätmetoder utvecklas också för att möjliggöra allt mindre, kraftfullare och energieffektivare mikrochips, och därmed driva på global digitalisering. Samarbetet fördjupas genom Zeiss engagemang i olika industripartnerprogram, såsom Advanced Patterning, 3D System Integration och Optical Interconnect, under ledning av imec. I dessa program arbetar partners tillsammans med de senaste process- och inspektionsmetoderna för processoptimeringar av nästa generations halvledare.
Investeringar i linje med European Chips Act
Det nära samarbetet mellan imec och Zeiss överensstämmer med målen och ambitionerna för Europeiska unionen och European Chips Act, som syftar till att stärka Europas tekniska suveränitet, konkurrenskraft och motståndskraft.
– Med investeringarna i imecs pilotlinje, som nu utökas med NanoIC-pilotlinjen, bidrar Zeiss avsevärt till att behålla Europa ledande inom den senaste generationen av halvledarutrustning och utöka den ytterligare genom utveckling av tekniska färdplaner, säger Stammler.
Förvärvet och driften av NanoIC-pilotlinjen finansieras gemensamt av Chips Joint Undertaking, genom Europeiska unionens Digital Europe-program (101183266) och Horizon Europe-program (101183277), samt av de deltagande staterna Belgien (Flandern), Frankrike, Tyskland, Finland, Irland och Rumänien. För mer information, besök www.nanoic-project.eu.